電子行業
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電子行業


一、行業介紹

電子產品產業鏈可分為上、中、下三個層次:最上麵的層次是最終電子整機產品及電子終端產品,例如雷達、通信、廣播電視、計算機、試聽等設備;中間層次是成百上千種的電子基礎產品,包括電子元件、半導體器件、電子真空器件、光電子器件等,他們經過組合裝配便形成了各種電子終端產品;最下麵的層次是支撐著電子終端產品組裝和電子基礎產品生產的電子專用材料等,他們是電子產品的基礎。因此,電子工業一般可分為電子專用材料,半導體器件,電子元件及印刷電路板,電真空器件、平板顯示器件、光電子器件,電子終端產品幾個方麵。

二、行業特點

電子工業是VOCs排放的主要行業之一,電子工業廢氣VOCs排放種類多,組分複雜。一般來說,廢氣排放中風量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大於11000m³/h)和濃度低(通常小於25ppm)的特點。在產品製造過程中主要VOCs排放為異丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、甲基乙基酮等。

三、處理工藝

針對電子行業行業廢氣具有風量大、濃度低、種類繁多等顯著特點,采用廢氣過濾裝置+沸石轉輪濃縮+旋轉式RTO係統對VOCs進行治理。廢氣過濾裝置采用四級過濾係統,能較完全地去除廢氣中0.5um 以上的顆粒物,淨化效率達到99%。大風量、低濃度的有機廢氣去除顆粒物後通過沸石轉輪濃縮成小風量、高濃度氣流,再將濃縮後的高濃度有機廢氣引入旋轉式RTO進行高溫氧化處理。其主要優點是廢氣處理效率達到99%以上、熱回收效率達到95%以上;進入旋轉式RTO前加入沸石轉輪濃縮,使風量降低,濃度增高,減小旋轉式RTO的配置參數。


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